您當前的位置：
標準蒸發源坩堝裝料操作
文章來源：
第一步：準備以下材料以及工具；
材料：
①蒸發材料 ②標準蒸發源
工具：
①鑷子（潔凈） ②無塵服 ③無塵手套 ④口罩 ⑤真空用鋁箔
⑥無水酒精 ⑦超凈布 ⑧蒸發源支撐架
第二步：安全檢查，在操作蒸發源之前一定要確認之前的蒸發源生長過何種材料。有一部分材料屬于有毒性的例如Te，或者屬于易燃易爆物品的例如堿金屬，一定要按照MSDS的規范操作采用特殊工藝，以下僅針對無毒無害材料的裝料做說明。
第三步：確認安全后，穿戴無塵服、無塵手套及口罩，先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松，再將磁耦合旋轉驅動旋轉至90度并把鎖緊螺絲鎖緊（即擋板處于打開位置）。
第五步：使用超凈布蘸取無水酒精擦拭鑷子，在橫放的情況下使用鑷子緩慢取出坩堝頂部的坩堝壓片（避免殘留材料跌落），將坩堝壓片暫放在潔凈的鋁箔紙上。
第六步：小心取出坩堝，請注意某些陶瓷坩堝例如PBN由于壁厚和材質的原因非常脆弱，務必輕拿輕放。
第七步：目視檢查坩堝，確認坩堝沒有異常，檢查坩堝內容物，一般不建議新舊材料混用，以及不同種材料混用。如有必要需要清空坩堝并使用超聲波清洗或者更換新的坩堝。
第八步: 握住坩堝傾斜30-45度，使用潔凈的鑷子將材料沿坩堝壁緩慢滑入，過程中需要避免大顆粒材料猛烈撞擊坩堝底部造成坩堝損壞。建議裝料量最大不超過坩堝容積的三分之一。需要蒸發其他材料時需更換新坩堝以及坩堝壓片避免交叉污染。
第十步：確保坩堝安裝就位穩定后，先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松，再將磁耦合旋轉驅動旋轉至0度并把鎖緊螺絲鎖緊（即擋板處于關閉位置）。
第十一步：將蒸發源豎直放置于專用支撐架上（待裝入腔體），避免坩堝材料滑出。對于活潑敏感材料，建議盡早進入真空環境，以免材料發生氧化或吸水變性。安裝前檢查蒸發源電極間的電阻以及接地電阻，對比出廠數據，確保各項參數正常。
第十二步：接觸材料的坩堝，鋁箔，或者工具等，都需要及時收納更換/清洗，分類擺放，避免交叉污染。
安裝時注意事項
2.裝料前請確認材料和坩堝的種類相匹配，部分材料會和特定坩堝發生反應或者共融，不合理的匹配將會影響生長甚至造成設備損壞；
3.有任何疑問請咨詢我司技術部門，郵箱：surface-science@fermi.com
- 上一個：標準蒸發源拆裝操作
- 下一個：CF法蘭緊固安裝操作
