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標準蒸發源
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產品概述 Product Overview
高溫蒸發源設計用于2000°C以下的超高真空系統運行。陶瓷支撐加熱元件的概念在這里不再有效，因為：大多數陶瓷在如此高的溫度下是半導的，因此很難絕緣；PBN在1500°C以上分解顯著。
為了克服這些問題，制作一種自支撐加熱絲，成為開發高溫蒸發源的關鍵。有了這種由粗鎢絲制成的自支撐加熱絲，更高版本的高溫蒸發源甚至可以達到2000°C。
為防止加熱元件對法蘭的輻射加熱，同時能夠在最大功率運行時冷卻電極，高溫蒸發源配置了一個內置電極水冷套。同時，為了防止腔室被輻射加熱，建議增加外置水冷套。
規格說明 Specification
● 加熱系統：輻射加熱，W絲
● 兼容Oxide MBE
● 溫度穩定性：≤0.1%，取決于PID控制器
● 水冷系統：內置電極水冷，和選配外置水冷
● 超高真空兼容，極限真空10-11mbar
● 兼容Oxide MBE
● 溫度穩定性：≤0.1%，取決于PID控制器
● 水冷系統：內置電極水冷，和選配外置水冷
● 超高真空兼容，極限真空10-11mbar
| 法蘭尺寸 | 坩堝尺寸 | 工作溫度 | 最大除氣溫度 | 熱電偶 | 精確度 | 型號 |
|
NW38CF(O.D. 2.75”) |
10 cc |
800~1800℃ | 1900℃ | C |
±0.1% |
E38HT |
| 1000~2000℃ | 2000℃ | C | E38UT |
測試曲線圖 Test Curve
| —————— 功率測試 —————— | —————— 束流溫度曲線 —————— |
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產品尺寸 Dimension Drawing
視頻 Video
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