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標準蒸發源
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產品概述 Product Overview
標準雙溫區中溫蒸發源的最大工作溫可達1400℃。蒸發源內部采用獨特的加熱絲設計，每個加熱絲均由PBN環支撐，可確保坩堝受熱均勻，同時有更好的使用穩定性和更長的使用壽命。中間采用多層線接觸式鉭筒隔熱，大大降低了熱輻射損失，提高了熱量利用率，使其在較低的功率下即可達到較高的工作溫度。蒸發源水冷系統采用獨立水冷套設計，屏蔽了高溫加熱區域對腔體內壁的輻射，可有效減少腔壁放氣，為樣品生長提供了更好的真空條件，同時提高了溫度測量精度。
標準雙溫區中溫蒸發源設計用于在300°C至1400°C的溫度范圍內蒸發或升華各種元素和化合物，例如典型的III-V MBE材料（例如Al，Ga或In）。
規格說明 Specification
● 加熱系統: 輻射加熱，帶有PBN支撐片的鉭加熱絲
● 溫度穩定性：≤±0.1%，取決于PID溫控器
● 超高真空兼容，極限真空量級10-11mbar
● 獨立水冷模塊
● 擋板：可選材質擋片（鉭，PBN等）
| 爐源型號 | E63MT60DF | E63MT80DF | E100MT150DF | E125MT300DF | E150MT700DF |
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坩堝容量 |
60cc | 80cc | 150cc | 300cc | 700cc |
| 坩堝材質 |
PBN |
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| 加熱絲數量 |
2 |
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| 加熱絲材質 |
鉭 |
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| 熱點偶類型 |
W5％Re / W26％Re（C型） |
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| 安裝法蘭 | DN63CF | DN63CF | DN100CF | DN125CF | DN150CF |
| 溫度范圍 |
300~1400℃ |
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| 上溫區最高除氣溫度 |
1300℃ |
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| 下溫區最高除氣溫度 |
1400℃ |
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| 溫度穩定性 |
±0.1% |
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| 烘烤溫度 |
250℃ |
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測試曲線圖 Test Curve
| —————— E63MT80DF溫度功率曲線 —————— | — E63MT80DF上溫區1280℃和下溫區1260℃時在襯底位置束流分布 — |
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— E63MT80DF上溫區1280℃和下溫區1260℃時鍺薄膜沉積曲線 — |
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視頻 Video
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