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高溫蒸發源
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產品概述 Product Overview
標準低溫(LT)和中溫(MT)蒸發源的最大工作溫可達1100℃ 和1500℃。蒸發源內部采用獨特的加熱絲設計，可確保坩堝受熱均勻，同時有更好的使用穩定性，和更長的使用壽命。中間采用多層線接觸式鉭筒隔熱，大大降低了熱輻射損失，提高了熱量利用率，使其在較低的功率下即可達到較高的工作溫度。蒸發源水冷系統采用內置水冷套設計，屏蔽了高溫加熱區域對腔體內壁的輻射，可有效減少腔壁放氣，為樣品生長提供了更好的真空條件，同時提高了溫度測量精度。
除了標準加熱絲外，熱口和冷口型的加熱絲設計可以滿足特殊要求的蒸發材料。
規格說明 Specification
● 加熱系統: 輻射加熱，帶有PBN支撐片的Ta加熱絲
● 兼容Oxide MBE
● 溫度穩定性：≤0.1%，取決于PID溫控器
● 超高真空兼容，極限真空10-11mbar
● 內置水冷模塊
● 擋板：可選Ta擋片（手動/氣動)
● 兼容Oxide MBE
● 溫度穩定性：≤0.1%，取決于PID溫控器
● 超高真空兼容，極限真空10-11mbar
● 內置水冷模塊
● 擋板：可選Ta擋片（手動/氣動)
| 法蘭尺寸 | 坩堝尺寸 | 工作溫度 | 最高除氣溫度 | 熱偶類型 | 溫度穩定性 | 型號 |
|
NW38CF(O.D. 2.75”) |
10 cc |
100~1100℃ | 1200℃ | K |
±0.1% |
E38LT |
| 300~1500℃ | 1600℃ | C | E38MT | |||
|
NW63CF(O.D. 4.50”) |
25/50 cc |
300~1100℃ |
1200℃ |
K |
±0.1% |
E63LT |
|
300~1500℃ |
1600℃ |
C | E63MT |
測試曲線圖 Test Curve
| —————— 功率測試 —————— | —————— 銅束流溫度曲線 —————— |
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| —————— 銅薄膜沉積曲線 ——————— | —————— 溫度穩定性測試 —————— |
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產品尺寸 Dimension Drawing
| NW38CF | NW63CF |
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視頻 Video
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