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費勉儀器Demo系統一期正式交付
文章來源：費勉儀器
2020年4月27日，費勉儀器科技（上海）有限公司（FERMI INSTRUMENTS）設計并搭建的Demo一期系統在公司內部完成各項指標驗收，正式交付費勉儀器科研產品部阿力甫教授團隊。
薄膜制備、真空、低溫、等離子技術是費勉儀器的四大技術方向，費勉儀器整合自身優勢，自主開發搭建一整套Demo系統，包括薄膜制備、真空互聯和分析測量部分，以便更好的服務客戶，提供更加專業的技術方案。
該系統平臺為FERMI INSTRUMENTS成熟產品，由費勉代表性產品組成。此次交付為一期系統，包括超高真空薄膜生長系統和圓形傳樣系統兩個模塊。
▲Demo系統一期交付成功
超高真空薄膜生長系統
超高真空薄膜生長系統Cubic腔體本底真空優于5×10-10mbar；目前配有高溫蒸發源和mini電子束蒸發源，適用于多種材料生長。
搭配樣品架為五軸高溫樣品架和四軸高低溫樣品架，其中：
五軸高溫樣品架最高工作溫度為1200K（熱輻射加熱）或 1500K（電子束加熱），控溫精度好于0.1℃，同時保證了樣品臺的多自由度運動與位置準確性；
四軸高低溫樣品架除具備相同的高溫指標外，可通過液氮冷卻到最低溫150K；
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| ▲超高薄膜真空生長系統 | ▲樣品臺多自由度運轉 |
圓形傳樣系統RDC820
RDC820采用了超高真空中樞的思路，不銹鋼腔體標配8個對接口，機械臂可以從任何一個口伸出820mm，伸縮比遠優于普通傳樣桿結構。除了旋轉和伸縮自由度外，RDC820的機械臂還具有升降自由度，用來適應不同系統之間的高度差異；機械臂配合彈道模塊可以實現360度的翻轉，用來配合不同系統之間不同的樣品取向；通過搭配標準的Flag Type Sample holder，機械臂可以通過一個特制的機構實現樣品托的取放。此圓形傳樣系統為之后連入更多不同功能的系統預留了充足的擴展空間。
▲圓形傳樣系統RDC820
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| ▲機械臂360°自由翻轉 | ▲機械臂自由伸縮 |
這是費勉儀器第一次在公司內部正式交付一套整機系統，將作為公司內部系統教學培訓平臺和對外技術展示窗口，一期系統將主要用于薄膜制備，為客戶提供蒸發源應用于各種材料生長所需要的專業數據。在此基礎上，未來還將利用低溫、等離子技術的優勢陸續對接不同費勉儀器產品，如擴展超高分辨角分辨光電子能譜測量系統等。費勉儀器擁有強大的系統集成和研發能力，我們希望與國內外更多優秀科研工作者合作，持續提供更加專業的技術服務和完善的解決方案。
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