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MBE-1000Cluster全自動傳樣系統
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薄膜制備
THIN FILM FABRICATION
薄膜外延技術，是研發制備新材料的關鍵技術。費勉儀器致力于分子束外延生長技術的國產化，成功開發了大中小不同系列科研用MBE系統及各種核心部件。其中蒸發源產品覆蓋了從最低零下50℃到最高3500℃的蒸發范圍。產品成功交付國內外知名大學和研究所。
