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高亮度多氣體真空紫外光源(BL-1000S)
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產品概述 Product Overview
費勉BL-1100S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源，包含差分腔體，一個單色腔體，一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥，能夠使用多種工作氣體（He, Xe），滿足小光斑，氣壓增量小的要求。
規格說明 Specification
● 可伸縮調節機制
● 75mm行程線性驅動
● 角度調節機制：傾角范圍：±3°
● 固態射頻電源，射頻線纜
● 強制風冷和水冷
● 兼容超高真空，全金屬密封
● 75mm行程線性驅動
● 角度調節機制：傾角范圍：±3°
● 固態射頻電源，射頻線纜
● 強制風冷和水冷
● 兼容超高真空，全金屬密封
測試報告 Test Report
視頻 Video
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