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高亮度多氣體真空紫外光源(BL-1000S)
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產品概述 Product Overview
費勉BL1200S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源，包含差分腔體，一個單色腔體，一個多濾片變換裝置，一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥，能夠使用多種工作氣體（He, Ne, Ar, Kr, Xe...），滿足小光斑，氣壓增量小的要求。
規格說明 Specification
● 可伸縮調節機制
● 75mm行程線性驅動
● 角度調節機制：傾角范圍：±3°
● 固態射頻電源，射頻線纜
● 強制風冷和水冷
● 兼容超高真空，全金屬密封
氣體
能量 (eV)
波長(nm)
電流 (nA)
光子數 Photons/s
He
21.2
58.5
33.8
1.56e12
Hell
40.83
30.37
1.0
1.04e11
Ne
16.85
73.59
11
4.43e11
Ar
11.83
104.82
7.5
4.96e11
Kr
10.03
123.58
2.4
7.5e11
Xe
8.43
146.96
1.5
9.3e13
測試報告 Test Report
產品尺寸 Dimension Drawing
視頻 Video
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