

產品概述 Product Overview
費勉儀器提供的6軸閉循環低溫樣品架可以實現樣品位置以及姿態的精確控制,它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料,可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大范圍移動,并可實現繞三個軸的旋轉運動(旋轉角R1、俯仰角R2、面內旋轉角R3)。其中,X/Y/Z/R1通過XYZ-R1位移臺實現,R2和R3通過樣品桿的齒輪傳動結構實現。 馬達控制軟件可以與ScientaOmicron的分析器聯動,實現automapping功能。
產品亮點 Highlights
● 運行成本低:采用風(水)冷式GM制冷機提供冷量
● 多自由度:可實現全馬達6軸控制
● 操作便捷:即插即用,可長時間穩定運行
● 超低溫:樣品臺最低穩定可達6K
● 精準控溫:PID控溫精度可達10mK
● 快速變溫:從室溫至6K,小于4小時
● 多種功能模塊可選
相關配件 Options
● 樣品停放臺
● 雙樣品低溫樣品臺
● 高溫樣品臺(可選電子束加熱)
● YAG臺
● 樣品浮動模塊
● 低溫解理模塊
● 四電極輸運測量模塊
技術規格 Mechanical Specifications
R1軸向旋轉 |
360°(-180°,+ 180°) |
R2俯仰角旋轉 |
60°(-15°,+45°) |
R3面內角旋轉 |
240°(-120°,+ 120°) |
X / Y行程 |
25mm(±12.5mm) |
Z行程 |
最大650mm |
|
4-軸 | 5A-軸 | 5F-軸 | 5.5-軸 | 6-軸 |
XY行程 | ±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
Z行程 | 最長700mm |
最長700mm |
最長700mm |
最長700mm |
最長700mm |
XYZ驅動 | 手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
XYZ精度 | <0.01mm |
<0.01mm |
<0.01mm |
<0.01mm |
<0.01mm |
R1范圍 | 360°(-180°,+180°) |
360°(-180°,+180°) |
360°(-180°,+180°) |
360°(-180°,+180°) |
360°(-180°,+180°) |
R1控制方式 | 手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
手動/馬達 |
R1控制精度 | <0.1° |
<0.1° |
<0.1° |
<0.1° |
<0.1° |
R1減速比 | 360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
R2(Flip)范圍 | —— | —— | 60°(-15°,+45°) |
60°(-15°,+45°) |
60°(-15°,+45°) |
R2驅動 | —— | —— | 馬達 | 手動/馬達 | 手動/馬達 |
R2精度 | —— | —— | <0.1° | <1° | <0.1° |
R2減速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
R3(Azi)范圍 | —— | 240°(-120°,+120°) | —— |
240°(-120°,+120°) |
240°(-120°,+120°) |
R3驅動 | —— | 手動/馬達 | —— |
手動 |
手動/馬達 |
R3精度 | —— | <0.1° | —— | 手動<1° | <0.1° |
R3減速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
溫度范圍 | <4-325K |
<5-325K |
<5-325K |
<6-325K |
<6-325K |
最低溫度 | <4K |
<5K |
<5K |
<6K |
<6K |
控制精度 | <0.01K |
<0.01K |
<0.01K |
<0.01K |
<0.01K |
降溫時間 | <3 Hour (RT-6K) |
<4 Hour (RT-6K) |
<4 Hour (RT-6K) |
<5 Hour (RT-6K) |
<6 Hour (RT-6K) |
降溫曲線 Cooling Curves
視頻 Video
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