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MBE高低溫樣品架-4軸
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產品概述 Product Overview
● 安裝法蘭：DN 350CF
● 襯底尺寸：3英寸
● 加熱器：SiC加熱器
● K型熱偶測溫
● 旋轉速度：0~30 RMP
● 溫度范圍：RT-1000℃
● Z軸行程：50mm
● 定制長度
● 應用領域：薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射
相關配件 Options
● 手動（氣動）擋板
● 水冷套
● 溫度計：K型或C型熱偶
● Z軸行程：最大250mm，手動/馬達控制
● DPRF:
±180°，手動/馬達控制
視頻 Video
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