產品概述 Product Overview

費勉儀器的高效射頻等離子體裂解源，采用獨創的射頻聚焦激勵技術，4種高效固態射頻源作為驅動電源(13.56MHz/433MHz/915MHz/2450MHz)，無需復雜的射頻匹配網絡，能夠有效提高氣體的離化效率。在等離子體引出口設置小孔結構，通過調節小孔結構優化引出原子/離子的穩定性和均勻性。與傳統的射頻等離子體源相比,該裂解源能夠更好地控制由于開關閥門和開關射頻引起的束流不穩定性，同時該裂解源可以通過不同材料的放電腔體裂解產生不同的等離子體源如氮源，氧源和氫源等，廣泛應用于分子束外延系統（MBE）中氮化物生長、氮原子注入和摻雜、氧化物生長、氧原子的注入和摻雜以及氫原子表面的清洗等。

規格說明 Specification

● 獨創的射頻聚焦技術：氣體離化效率高，等離子體源穩定性高

● 4種固態射頻驅動，結構簡單，無復雜的外部匹配網絡，易于操作

● 適用于N₂, O₂, H₂, CH₄, Ar, Kr 等多種工作氣體

● 緊湊超高真空設計，適用于CF35/CF63/CF100等各種安裝口

● 三個主要應用方向：MBE薄膜生長用原子源，表面改性用離子源，真空清洗用等離子體源

測試報告 Test Report

產品尺寸 Dimension Drawing

離子源433	離子源915

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