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高束流射頻等離子體源
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產品概述 Product Overview
采用自主研發的新型遠程低溫等離子激勵技術，實現等離子發生室和處理室分離，解決了傳統電離技術的多種困擾。該款產品屬于緊湊型的桌面式等離子處理機，容積為27L，適用于處理小、中型部件及物品，根據不同的需求和工藝要求，可以實現物品表面清洗、表面改性、表面活化等功能，處理過程采用自動化控制。該等離子激勵技術可以實現更大容積（一立方以上）的處理設備，加快產線處理效率，可根據不同的應用和工藝需求，提供定制化產品。
規格說明 Specification
● 外形尺寸：700mm(L)×550mm(W)×625mm(H)
● 處理容積：27L
● 工作氣壓：5Pa-50Pa
● 系統控制：PLC+觸摸屏控制
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