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高純氣路面板
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等離子技術
PLASMA TECHNOLOGY
公司研發的射頻聚焦等離子激勵技術，突破傳統等離子激勵所需的高壓電極放電、大功率微波源等限制，使低溫等離子技術在更多領域的應用變為現實?；诖思夹g開發的高亮度深紫外光源是組成高性能的光電子能譜儀、有機質譜儀、真空紫外透反射光譜探測等高端系統的關鍵核心部件。
