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高純氣路面板
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產品概述 Product Overview
費勉設計一款多濾片快速切換裝置，在腔體真空度不變的情況下能夠使多種工作氣體（He, Ne, Ar, Kr, Xe...）滿足多光子能量輸出的需求。
規格說明 Specification
● 匹配BL1010s和BL1200s系列真空紫外光源
● 特殊設計的多濾波片快速切換結構，包含4個濾波片
● 在一個VUV光源中兼容He、Ne、Ar、Kr和Xe
● 更換便捷，無需破壞主腔真空
| 氣體 | 能量 (ev) | 波長（nm) | 電流（nA) | 光子數photons/s |
| He | 21.2 | 58.5 | 33.8 | 1.56e12 |
| Ne | 16.85 | 73.59 | 11 | 4.43e11 |
| Ar | 11.83 | 104.82 | 7.5 | 4.96e11 |
| Kr | 10.03 | 123.58 | 2.4 | 7.5e11 |
| Xe | 8.43 | 146.96 | 1.5 | 9.3e13 |
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