高純氣路面板

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產品概述 Product Overview

費勉設計一款多氣路面板用于提供優于100ppt級別高純紫外光源工作氣體，包含 He, Ne, Ar, Kr, Xe...等多種工作氣體，提高光子分辨率，延長燈頭使用壽命。

規格說明 Specification

● 精密氣體流量控制：0.1sccm-10sccm

● 純度：純化后氣體純度優于100ppt

● 多路氣體切換

● 全金屬VCR超高純氣路標準設計

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